Технические характеристики
- Быстрый отжиг длинноволновым высокотемпературным лазером;
- Предварительный нагрев и охлаждение пластин;
- Высокоточный, высокоскоростной контроль температуры с замкнутым контуром.
Технические параметры
|
Размер пластины |
12 дюймов |
|
Мощность лазера |
3500 Вт |
|
Диапазон рабочих температур |
900-1350℃ |
|
Стабильность максимальной температуры |
1℃ |
|
Однородность внутри чипа |
2.5% |
|
Повторяемость между микросхемами |
1% |
|
Время термической обработки |
0,2-0,8 мс |
|
Точность контроля температуры |
1℃ |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
USJLA |
По запросу |
JoomShopping Download & Support