Средний плазменный очиститель имеет кварцевую камеру диаметром 6 × 6,5 дюйма. Он предназначен для очистки и удаления наноразмерных органических загрязнений с подложки или пластины диаметром до 4 дюймов с помощью воздушной, кислородной или аргоновой плазмы. Максимальная скорость удаления органики составляет около 20 нм/мин при высокой мощности радиочастотного излучения.
Технические характеристики
Средне-плазменный очиститель - отличный инструмент для предварительной очистки монокристаллической подложки перед эпитаксиальным нанесением пленки для достижения лучшего качества.
Основные характеристики
- С помощью кнопок и переключателей на панели управления можно управлять радиочастотной мощностью, открытием и закрытием вакуумного насоса и временем очистки.
- Такая информация, как время, мощность и разрежение, отображается на наборе 4-значных цифровых ламп.
- благодаря трехходовому клапану, позволяющему точно регулировать поток всасываемого воздуха, а также большой полости для очистки воздушного потока, интерфейс впуска воздуха представляет собой наконечник диаметром 6 мм.
- Выберите высокочастотное силовое оборудование для экспериментов по плазменному травлению и плазменному озолению.
Технические параметры
|
Потребляемая мощность |
Переменный ток 220 В, 50/60 Гц Мощность ВЧ: 30 Вт Макс. Вакуумный насос: <500 Вт Общая мощность: <600 Вт |
|
Радиочастотная мощность |
Мощность ВЧ (высокое напряжение и высокочастотный ток, подаваемый на катушку) регулируется на трех уровнях: низкое значение 7,2 Вт; Среднее значение 10,2 Вт; Высокое значение 30 Вт Радиочастотная частота: 3 МГц |
|
Панель управления |
Функция управления: время очистки, радиочастотная мощность, вакуумный насос. |
|
Плазменная камера |
Кварцевая камера диаметром 6 "длиной 6,5", , Емкость 3 литра Дверца на петлях со смотровым окошком для удобства загрузки образцов и наблюдения |
|
Вакуумный насос |
В комплект поставки оборудования входит двухступенчатый роторно-лопастной вакуумный насос (156 л/м) с вытяжным фильтром и вакуумной трубкой Доступны как 110 В, так и 220 В, пожалуйста, уточните при покупке. |
|
Инертный газ |
Для плазменной очистки можно выбрать множество инертных газов, таких как N2, Ar, Воздух и смешанный газ, в зависимости от того, какой материал будет обрабатываться. Для плазменного очистителя не должен использоваться легковоспламеняющийся газ |
|
Размеры |
400 мм Д × 300 мм Ш × 300 мм В 16 "× 12 " × 12" (дюйм) |
|
Вес нетто |
30 фунтов |
|
Гарантия |
Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой (на стеклянную камеру Pyrex гарантия отсутствует) |
|
Примечание по применению |
Избыточное давление может повредить плазменно-кварцевую камеру. |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Medium plasma cleaner with vacuum pump |
По запросу |
JoomShopping Download & Support