Лазерный интерферометр SJ6000

Основные характеристики

Широкий диапазон применения, высокая точность измерений, простота в эксплуатации

Подробная информация

Лазерный интерферометр использует световые волны в качестве носителя. Длина волны световых волн может быть непосредственно определена в метрах и может быть прослежена до национальных стандартов. Это высокоточный и высокочувствительный измерительный прибор, признанный на сегодняшний день, и он широко используется в производстве высокого класса.

Лазерный интерферометр SJ6000 объединяет оптические, механические, электрические, компьютерные и другие технологии. В продукте используются импортные высокоэффективные гелий-неоновые лазеры со сроком службы до 50 000 часов; используется технология тепловой стабилизации частоты лазерного двойного продольного режима, которая позволяет достичь высокой точности, сильной помехозащищенности, и долгосрочная стабильная выходная частота лазера; использует высокоскоростную технологию сбора, кондиционирования и разделения интерференционных сигналов, которая позволяет достигать скорости измерения до 4 м/с, а также наноразмерного разрешения; использует высокоточный модуль компенсации воздействия окружающей среды, который может осуществлять автоматическую компенсацию длины волны лазера и материалов; использует высокопроизводительную компьютерную систему управления и программные технологии, поддерживает китайский, английский и русский языки, дружественный человеко-машинный интерфейс, управляемый рабочий процесс и лаконичное управление записями.

Лазерный интерферометр SJ6000 обладает преимуществами высокой точности измерений, большого диапазона измерений, высокой скорости измерения и высокого разрешения при самой высокой скорости измерения. В сочетании с различными группами оптических линз он позволяет осуществлять высокоточные измерения геометрических параметров, таких как измерение линейной длины, угла, прямолинейности, вертикальности, параллельности и плоскостность. В сотрудничестве с программным обеспечением для динамических измерений лазерного интерферометра SJ6000 может быть реализовано динамическое измерение и определение характеристик линейного перемещения, угла и прямолинейности, а также динамический анализ перемещения, скорости, ускорения, амплитуды и частоты, такой как анализ вибрации, анализ динамических характеристик винтовой направляющей, анализ характеристик отклика приводная система и т.д.

Конфигурация продукта

Лазерная интерферометрическая система SJ6000 имеет множество модульных компонентов, и различные компоненты могут быть выбраны в соответствии с конкретными потребностями измерения. Основные группы зеркал перечислены на рисунке ниже, за ними следуют группа линейных зеркал, группа угловых зеркал, группа зеркал прямолинейности, группа зеркал вертикальности, группа зеркал плоскостности и автоматический прецизионный поворотный стол.

Среди них группа линейных зеркал является стандартной и состоит из линейного интерферометра, линейного зеркала и посадочного места с зажимным отверстием. Он может обеспечить точность позиционирования, точность повторного позиционирования, измерение обратного зазора и анализ оборудования линейных перемещений, а также коррекцию обратного зазора и компенсацию тангажа.

Принцип работы

Лазер излучает одночастотный луч света в линейный интерферометр, а затем делится на два луча. Один луч (опорный луч) направляется на зеркало, подключенное к светоделителю, в то время как второй пропущенный луч (измерительный луч) направляется через светоделитель во второе зеркало. Два затем лучи отражаются обратно к светоделителю, а затем возвращаются к лазеру после перегруппировки. Для контроля интерференции между двумя лучами будет установлен детектор (см. рисунок). Если разность оптических путей не изменится, детектор обнаружит стабильный сигнал между полюсами длины фазы и подавления помех.

При изменении разности оптических путей детектор будет обнаруживать сигнал изменения между полюсами фазовой длины и подавления помех при каждом изменении оптического пути. Эти изменения будут рассчитаны и использованы для измерения разницы между двумя оптическими путями.

Характеристики продукта

Высокая точность

Лазерный интерферометр SJ6000 использует технологию интерференции в качестве основы, и его световые волны могут непосредственно определять метры. Использование технологии термической стабилизации частоты лазерного излучения с двойным продольным режимом позволяет достичь высокой точности, сильной помехозащищенности и хорошей долгосрочной стабильности выходной частоты лазера; использование высокоточного модуля компенсации воздействия окружающей среды позволяет реализовать автоматическую компенсацию длины волны лазера и материала; интерферометр разработан отдельно от хоста, чтобы избежать воздействия тепла на интерференционное зеркало и обеспечить стабильность и надежность интерференционного оптического тракта.

Широкий спектр функций

Он может осуществлять высокоточное измерение геометрических параметров, таких как линейность, угол, прямолинейность, вертикальность, параллельность, плоскостность и ось вращения.；

Он может определять точность линейного позиционирования и точность повторного позиционирования направляющей рейки прецизионного оборудования для перемещения, такого как станки с ЧПУ и трехкоординатные измерительные машины, а также угол наклона, угол кручения, прямолинейность, вертикальность и т.д. направляющей рейки.；

Может осуществлять двухосевое синхронное измерение портальных станков；

Может осуществлять измерение и калибровку оси вращения станка；

Таблица компенсации ошибок может быть автоматически сгенерирована в соответствии с методом компенсации, установленным пользователем, чтобы обеспечить основу для исправления ошибок оборудования；

Он имеет функции динамического измерения и анализа, включая анализ перемещения, анализ скорости, анализ ускорения, амплитудный и частотный анализ и т.д., анализ вибрации, анализ динамических характеристик винтовой направляющей, анализ характеристик отклика приводной системы и т.д.；

Поддержка ручной или автоматической компенсации воздействия на окружающую среду

Мощное программное обеспечение

Богатые функциональные модули приложений；

Краткое управление записями；

Поддержка китайского, английского и русского интерфейсов；

Поддержка настройки шаблона для конкретного предприятия.

Пример применения