Система вертикального выращивания эпитаксиальных тонких пленок в жидкой фазе с высоким содержанием теллура

Система выращивания вертикальной жидкофазной эпитаксиальной пленки, обогащенной теллуром, является одним из основных продуктов компании   Благодаря своему надежному качеству, стабильной работе и разумной цене, она хорошо принята производителем.

Технические характеристики

• Использование: используется для эпитаксиального выращивания в жидкой фазе тонкопленочных материалов HgCdTe.
• Размер подложки: макс.40x60 мм.
• Количество: 4 шт. в тубе
• Внутренний диаметр реакционной трубки: средний 126 мм
• Зоны контроля температуры: четыре зоны с независимым контролем температуры
• Максимальная рабочая температура: 750℃
• Точность контроля температуры: ≤0,1℃.
• Длина зоны постоянной температуры: 260 мм
• Однородность температуры в зоне постоянной температуры: ±0,2℃ (400℃~550℃)
• Метод контроля температуры: внутренний контроль и внешний контроль температуры.
• Минимальная стабильная скорость охлаждения: ≤0,1℃/мин, ±0,1℃.
• Скорость быстрого охлаждения без нагрузки: 550–100 ℃, <90 мин.
• Графитовая лодочка: вертикальный вход и выход реакционной трубки, автоматический подъем и опускание.
• Направление вращения: по часовой стрелке и против часовой стрелки.
• Вращение: держатель подложки может вращаться относительно графитовой лодочки или тигля, а иммерсионная жидкость может подниматься и опускаться
• Ход подъема погружной лодки держателя подложки:> 85 см
• Скорость подъема погружной лодки держателя подложки: 1–10 мм
• Скорость вращения погружной лодочки держателя подложки: 0,5–5 об/мин.
• Точность позиционирования движущихся частей: ≤0,5 мм.
• Скорость откачки: время накачки всей машины до давления ≤5Па составляет ≤5 минут.
• Максимальный вакуум всей машины: ≤5 Па.
• Чувствительность обнаружения утечки вакуума: 1,0x10-¹²Па·м³/с.
• Скорость повышения давления: <25 Па/ч.
• Сбор ртути: выхлопной трубопровод оснащен холодной ловушкой для улавливания конденсации паров ртути.
• Процесс: полностью автоматическое компьютерное управление, эргономичный дизайн, автоматическая работа и простота в эксплуатации.

Требования к программному обеспечению.

       Программное обеспечение управления системой имеет возможность автоматического управления всей технологической цепочкой. Оно разработано с учетом ограничений соответствующего уровня и может самостоятельно задавать параметры процесса управления.

      Объем знаний: Он имеет функцию ручного управления и может вручную контролировать и защищать материалы и оборудование для термообработки при возникновении проблем с автоматическим управлением.

Безопасная эксплуатация.

Он имеет обнаружение утечки H2, сигнализацию, самоблокирующуюся блокировку, очистку и другие функции, обнаружение перегрева, сигнализацию и блокировку воды, электроэнергии и газа и т. д.