Технические характеристики
- Бесконтактная система высокоточного измерения толщины и автоматического анализа формы пластин с предустановленными программами для автоматического сканирования. Платформа с линейными двигателями XY8.2T и сенсорами Z2, Z3;
- Простое управление: однокнопочный запуск, интуитивный интерфейс, отображение результатов в 1D и 3D форматах;
- Универсальность: измерение материалов с разной поверхностью (зеркальной, неоднородной, шероховатой);
- Субмикронная точность и повторяемость (<±1 мкм);
- Высокая производительность (UPH) благодаря управлению на магнитных линейных двигателях;
- Измерение ультратонких пластин толщиной менее 20 мкм;
- Параметры: толщина, TTV (общее изменение толщины), стабильность, искривление;
- Бесконтактные двойные сенсоры с фокусировкой на верхнем слое;
- Программируемое многоточечное измерение;
- Статистический контроль процесса (SPC): мин., макс., среднее, TTV;
- Поддержка различных типов пластин: Ge, GaAs, InP, стекло, сапфир, солнечные элементы, FPD, ленты, PCB.
Технические параметры
|
№ |
Параметр |
Описание |
|
01 |
Опциональные функции |
- Измерение дисков/пластин - Измерение высоты буферов (ручное / автоматическое) - Толщина ленты, шероховатость, сколы и трещины на кромках, 3D-визуализация |
|
02 |
Измеряемые материалы |
Пластины с паттернами, кремний (Si), германий (Ge), арсенид галлия (GaAs), медь (Cu), стекло, солнечные элементы, FPD, печатные платы (PCB), пластины на ленте (материал на выбор) - Опция: кнопка однокнопочного запуска программы -Редактирование тестовых программ, создание бездефектных программ |
|
03 |
Функции программы |
- Настройка точек измерения на изображении пластины, автоматическое измерение по предустановленным программам - Данные: ID пластины, номер партии, имя пользователя - Экспорт данных в формате ULCSV - Возможность загрузки данных из указанной папки - Именование результатов по номеру партии |
|
04 |
Датчики измерения |
- Ёмкостные датчики - Бесконтактные датчики CAS (воздушные) |
|
05 |
Размеры пластин |
Образцы малого размера, 4", 6", 8", 12" (возможно индивидуальное исполнение) |
|
06 |
Диапазон измерений (ход) |
10 мкм – 790 мкм (макс. до 1500 мкм с учётом толщины ленты) |
|
07 |
Статическая повторяемость |
≤ ±0.25 мкм (в одной точке) |
|
08 |
Динамическая повторяемость |
≤ ±1 мкм (9 точек без выгрузки) |
|
09 |
Разрешение измерений |
0.01 мкм |
|
10 |
Общее изменение толщины (TTV) |
- Пластины: зависит от состояния - Пластины на ленте: зависит от состояния |
|
11 |
Количество точек сканирования |
- 89 точек для 12" пластин - 45 точек для 8" пластин |
|
12 |
Вакуумный держатель (Chuck) |
Вакуумный патрон с отверстиями для датчиков и антистатическим покрытием |
|
13 |
Загрузка пластин |
Ручная загрузка с электромеханическим XY-столом |
|
14 |
Платформа XY (серво/шаговые двигатели) |
400×400 мм, серво/шаговые двигатели (65 мм) |
|
15 |
Точность платформы XYZ |
±1.5 мкм или выше |
|
16 |
Виброзащита |
Антивибрационная платформа |
|
17 |
Метод калибровки |
Кремниевый эталон (для пластин и лент), сертификация от аккредитованных организаций |
|
18 |
Конструкция системы |
Стальная рама с гранитным основанием |
|
19 |
Программное обеспечение |
Nanomez V.3.5 |
|
20 |
Компьютер |
Промышленный ПК: Intel i7 (2.2 ГГц), 32 ГБ ОЗУ, 256 ГБ SSD |
|
21 |
Комплектация |
21" монитор, клавиатура, мышь, стойка |
|
22 |
Габариты системы |
860 (Ш) × 1230 (Г) × 1350 (В) мм (возможны изменения) |
|
23 |
Вес |
350 кг и более |
|
24 |
Электропитание |
220 В, однофазное, 4.9 кВА (пик), 50/60 Гц |
|
25 |
Вакуум |
0.5 МПа |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Измеритель толщины кремниевых пластин WT-350 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support