Измеритель толщины кремниевых пластин WT-350-AUTO

Технические характеристики

WT-350-AUTO – это высокоточный измеритель формы кремниевых пластин, включая толщину, общее изменение толщины (TTV), плоскостность, степень коробления, изгиб и шероховатость с субмикронным разрешением и точностью, использующий один или два (верхний и нижний) сенсора.

При измерении плоскостности и TTV в нескольких точках пластины встроенные электронные картографические рецепты в удобной пользовательской программе позволяют проводить автоматические измерения с помощью передовых метрологических датчиков и высокоточной XYZ-линейной моторной платформы.

Кроме того, для сложных образцов нестандартной формы, таких как тонкие пластины после шлифовки с кольцевой опорой, ультратонкие пластины, Taiko-пластины, пластины с подложкой, выпукло-вогнутые пластины и другие, серия WT-350-AUTO предлагает оптимальные сенсорные решения и наиболее подходящую аппаратную конфигурацию для безопасной и бесконтактной работы.

Опционально платформа также поддерживает измерение шероховатости поверхности, микро-3D топографии и толщины тонких плёнок.

Возможности:

• Измерение формы свободных пластин;
• Плоскостность, толщина, TTV (общее изменение толщины), warp (коробление), bow (изгиб) и шероховатость;
• Бесконтактные прецизионные датчики;
• Многоточечные измерения с предустановленными рецептами;
• Автоматическая калибровка с помощью картографических датчиков на платформе WTR.

Опции:

• Измерение шероховатости и 3D-профилирование;
• Система автофокусировки с визуальным контролем;
• Измерение толщины клейкой ленты;
• Измерение толщины тонких плёнок (фоторезист / пассивирующий слой);
• Измерение высоты бумпов или кристаллов.

Минимальные, максимальные, средние значения и класс TTV:

• Графическое отображение в 2D и 3D;
• Поддержка круглых, дугообразных, прямоугольных, выпуклых и вогнутых пластин;
• Совместимость с материалами: Si, Ge, GaAs, InP, стекло, сапфир, тандемные солнечные элементы, FPD, ленты, PCB.

Измерение толщины слоёв (включая прозрачные):

• Контроль кромки;
• Лазерный конфокальный датчик;
• ИК-датчик пропускания;
• Бесконтактный сенсор с воздушным касанием.

4PP BS измерение (контактное/бесконтактное):

• PIN-чекер;
• Датчик белополосной интерферометрии;
• Датчик интерферометрии с широким полем зрения;
• Датчики DFP / Motie.