Автоматизированная система измерения сопротивления тонких слоёв RS-300

Технические характеристики

Серия RS представляет собой уникальные метрологические устройства для контактного и бесконтактного измерения сопротивления тонких слоёв (Rs) и удельного сопротивления, позволяющие легко создавать рецепты многоточечного картографирования и автоматически выполнять измерения сопротивления тонких плёнок и удельного сопротивления.

Модель RS-300 — это простой и экономичный измерительный инструмент из серии RS, использующий проверенную методику четырёхточечного зонда для высокоточных контактных измерений Rs. Он также обеспечивает комплексный контроль технологических процессов за счёт одновременного измерения толщины плёнки и её электрических характеристик.

Система поддерживает различные стандартизированные режимы работы, включая создание карт измерений на изображении пластины через Windows-приложение с графическим интерфейсом, а также позволяет задавать неограниченное количество точек измерений. Благодаря полностью автоматизированной системе EFEM (Equipment Front End Module) время выполнения полного цикла измерений — от загрузки до выгрузки материала — составляет всего 120 секунд.

Программное обеспечение на базе Windows обеспечивает максимальное удобство работы: результаты измерений могут сохраняться в виде SPC-отчётов в форматах CSV и TXT, а также визуализироваться в виде наглядных 2D- и 3D-графиков для удобного анализа данных.

Линейка RS-300 уже доказала свою эффективность и надёжность в различных промышленных приложениях, включая работу с кремниевыми пластинами, эпитаксиальными слоями (EPI), металлическими покрытиями, ионно-имплантированными материалами и диффузионными процессами.

Метрологические характеристики и функциональные возможности:

• Диапазон измерений: от 1 мΩ/□ до 10 М/Ω;
• Возможность измерений: плёнки толщиной от 3 нм до 1500 нм;
• Скорость измерений: 49 точек на пластине 300 мм – минимум 60 секунд (максимум 1225 точек), без загрузки/разгрузки (LD/ULD);
• Точность внутреннего сопротивления: <±0.5% (в диапазоне 1 Ω – 1 МΩ);
• Повторяемость: CV ≤ 0.7% (10 измерений в одной точке);
• Полностью автоматизированная система измерений RS;
• Поддерживаемые образцы: 12-дюймовые кремниевые пластины толщиной 600–900 мкм;
• Комбинированный модуль тестирования и зондирования;
• Высокоточные и стабильные измерения методом четырёхточечного зонда в двойном и стандартном режимах;
• Оценка технологических процессов: кремниевые пластины, диффузионные слои, ионно-имплантированные слои, эпитаксиальные слои, металлические плёнки;
• Платформа для измерения удельного сопротивления: Моторная платформа Ryo-θ (Y-theta), XY-моторная платформа (индивидуальная настройка хода);
• Дополнительное ПО для картографирования измерений на Windows;
• Коррекция измерений: по толщине, краям и температуре;
• Режимы тестирования: программируемые пользователем;
• Функция самодиагностики;
• Визуализация результатов: 2D-карты распределения 3D-графики.