Высокоточный усовершенствованный масс-метрологический прибор

Технические характеристики

1. Описание продукта

μMASS-ST представляет собой высокоточное in-line оборудование для измерения массы, специально разработанное для контроля технологических процессов при производстве 300-мм кремниевых пластин. Комплекс обеспечивает точный мониторинг отклонений в передовых технологических процессах, включая 3D NAND и DRAM, что способствует оптимизации производственных процессов и повышению эффективности производства.

2. Ключевые функции

Оборудование обеспечивает реальный мониторинг технологических процессов непосредственно в производственной линии (in-line), включая точное измерение массы пластины до и после каждого этапа обработки в процессах 3D NAND и DRAM. Система позволяет осуществлять динамический контроль изменений параметров процессов для оперативной оценки корректировок технологических режимов, обеспечивая точное управление производственным циклом.

Комплекс оснащен интеллектуальной системой компенсации внешних воздействий, которая устраняет влияние таких факторов как температура, влажность, давление и воздушные потоки (air flow) на точность измерений. Уникальная система компенсации условий измерений гарантирует стабильность результатов даже при регистрации микрограммовых отклонений.

3. Преимущества высокой точности

Система обеспечивает исключительную точность измерений с погрешностью не более 80 мкг (3σ), что позволяет фиксировать даже миллиграммовые изменения массы. Это делает комплекс критически важным инструментом для контроля 3D-структур и обнаружения минимальных отклонений, полностью соответствуя жестким требованиям современных полупроводниковых производств.

4. Области применения

Оборудование широко применяется для контроля качества технологических процессов, включая измерения изменений массы после таких ключевых этапов как осаждение, травление и очистка. Возможность in-line мониторинга в реальном времени позволяет осуществлять раннее обнаружение технологических отклонений.

Важным преимуществом комплекса является его способность преодолевать ограничения оптических методов контроля. μMASS-ST служит эффективной альтернативой оптическим технологиям при работе с многослойными пленками, структурами с высоким соотношением сторон и сложными 3D-архитектурами, обеспечивая прямое и точное измерение массы даже для толстых, глубоких или непрозрачных структур.