Технические параметры
|
Диаметр полости/Вакуумная камера |
1550*1600(мм) |
|
Лоток для заготовки |
Ф1410 |
|
Измерение толщины кристаллической пленки |
XTC-3 + шесть зондов |
|
Электронный пистолет |
Двойной пистолет |
|
Система низкого вакуума |
Насос Рутса + двухступенчатый пластинчато-роторный насос + диффузионный насос (опционально) |
|
Предельное давление |
3 х 10-4 Па |
|
Восстановление вакуума |
4 x 10-3 Па |
|
Температура нагрева |
300°C |
|
Источник питания |
Трехфазное электричество, 380 В, 50 Гц |
|
Давление воды, необходимое для оборудования |
0,3-0,4 МПа |
|
Давление воздуха, необходимое для оборудования |
0,5-0,7 МПа |
|
Вес |
8 т |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
ZZS1550 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support